TDDB評価装置 型番 IL-6400 製品名 TDDB評価装置 特徴   MOSトランジスタのゲート絶縁膜、酸化膜の耐圧信頼性評価試験を行う装置です。 ▼ 特長 ●最大240素子MOSゲート絶縁膜、酸化膜の電気的ストレス及び耐圧測定評価が可能です。 ●装置はGP-IBインターフェースを使用し、外部のコントローラ（PC等）でリモート制御により自動計測システム。 ●TDDBプローピングシステム、計測ソフト、データ処理、TDDB専用カード等の併用により、充実した計測が行えます。