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| SE-1000 |
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実体顕微鏡を実装し、試料サイズ10mm角からφ5インチウェハーまでプロービングが可能です。 |
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持ち運びが容易に行えるよう、小型・軽量化を実現しました。 |
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ステージは、X・Y・θで構成され小型ながら優れた操作性を提供します。 |
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低価格を実現しました。 基本構成価格 \1,500,000.- 〜 |
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プローバ | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1台 |
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5インチ用チャック | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1台 |
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マイクロポジショナー(MP-100/110) 標準アームを含む |
･･･････････････・・・・・・・・・・ | 各2台 |
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実体顕微鏡(オリンパス製 SZ61型） 接眼レンズ、対物レンズ及び 照明装置を含む |
･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1式 |
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真空ポンプ | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1式 |
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チャック・トップ外形 | ： | φ130mm |
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チャック・トップ平坦度 | ： | ±20μm以下 |
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X-Yステージ移動量 | ： | X軸：127mm、Y軸：180mm |
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試料台ローテーション | ： | 360°（ホットチャック搭載時180°） |
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プローブキャリアZ軸移動量 | ： | 13mm |
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プローブキャリア UP/DOWNストローク |
： | コンタクト〜セパレート：400μm セパレートアップ ：10μm |
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顕微鏡X-Yモーション | ： | X-Y フリーモーション |
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外形寸法 | ： | 360mm(W) x 380mm(D) x 500mm(H) |
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重量 | ： | 約30Kg （実体顕微鏡・ポジショナー4台搭載） |
