SE-1000 |
実体顕微鏡を実装し、試料サイズ10mm角からφ5インチウェハーまでプロービングが可能です。 |
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持ち運びが容易に行えるよう、小型・軽量化を実現しました。 | |
ステージは、X・Y・θで構成され小型ながら優れた操作性を提供します。 | |
低価格を実現しました。 基本構成価格 \1,500,000.- 〜 |
プローバ | ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ | 1台 | |
5インチ用チャック | ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ | 1台 | |
マイクロポジショナー(MP-100/110) 標準アームを含む |
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ | 各2台 | |
実体顕微鏡(オリンパス製 SZ61型) 接眼レンズ、対物レンズ及び 照明装置を含む |
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ | 1式 | |
真空ポンプ | ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ | 1式 |
チャック・トップ外形 | : | φ130mm | |
チャック・トップ平坦度 | : | ±20μm以下 | |
X-Yステージ移動量 | : | X軸:127mm、Y軸:180mm | |
試料台ローテーション | : | 360°(ホットチャック搭載時180°) | |
プローブキャリアZ軸移動量 | : | 13mm | |
プローブキャリア UP/DOWNストローク |
: | コンタクト〜セパレート:400μm セパレートアップ :10μm |
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顕微鏡X-Yモーション | : | X-Y フリーモーション | |
外形寸法 | : | 360mm(W) x 380mm(D) x 500mm(H) | |
重量 | : | 約30Kg (実体顕微鏡・ポジショナー4台搭載) |