SE-1100 マニュアルプローバ
SE-1100
金属顕微鏡を実装し、試料サイズ10mm角からφ6インチウェハーまでプロービングが可能です。
持ち運びが容易に行えるよう、小型・軽量化を実現しました。
ステージは、X・Y・θで構成され小型ながら優れた操作性を提供します。
CCDカメラ等を搭載し、液晶相転移観測等に最適な装置です。
低価格を実現しました。
  基本構成価格 OPEN
プローバ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1台
6インチ用チャック ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1台
マイクロポジショナー(MP-100/110)
標準アームを含む
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 各2台
金属顕微鏡(ミツトヨ製FS-70型)
接眼レンズ、対物レンズ及び
照明装置を含む
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
真空ポンプ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
チャック・トップ外形 φ155mm
チャック・トップ平坦度 ±20μm以下
X-Yステージ移動量 X軸:127mm、Y軸:180mm
試料台ローテーション 360°(ホットチャック搭載時180°)
プローブキャリアZ軸移動量 13mm
プローブキャリア
 UP/DOWNストローク
コンタクト〜セパレート:400μm
セパレートアップ    :10μm
顕微鏡X-Yモーション X軸、Y軸共に25mm
外形寸法 440mm(W) x 545mm(D) x 590mm(H)
重量 約58Kg (金属顕微鏡・ポジショナー4台搭載)