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| SE-2108 |
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シールドチャンバー内のステージとマニピュレータは外部操作が可能です。 |
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FT-3300サーモチャック温度コントロール装置と接続する事で、温度範囲 -40℃～250℃のサーモチャックとして使用可能です。 |
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マニピュレータの最大搭載数は、8台です。 |
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YAGレーザー装置の搭載が可能です。 |
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顕微鏡 | ・・・・・・ | FS-70&VMZoom40シリーズ (ﾐﾂﾄﾖ社) |
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YAGレーザー装置 | ・・・・・・ | HSL-4000Ⅱシリーズ (HOYA社) |
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チャックトップ | ・・・・・・ | 8ｲﾝﾁ CT-8 or CT-8TXA (標準仕様) |
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プローブカードアダプタ | ・・・・・・ | CA-300-870(70pin)／CA-300-848(40pin) |
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プローブヘッド | ・・・・・・ | TPｼﾘｰｽﾞ、MAｼﾘｰｽﾞ、PAｼﾘｰｽﾞ 各種 |
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マニピュレータ | ・・・・・・ | MM-200M／MM-201M (マグネット固定式) |
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プローブ針 | ・・・・・・ | SW、DFSW、DW、CW 各種 |
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温度コントローラ | ・・・・・・ | ホットチャック HC-8X & AT-3000 サーモチャック ATC-8X & FT-3300 |
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真空ポンプ | ・・・・・・ | 1式 |
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X-Yステージ移動量 | ： | X軸：205mm、Y軸：205mm |
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試料台ローテーション | ： | 粗動：180° 微動：10° |
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プローブキャリアZ軸移動量 | ： | 10mm |
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プローブキャリア UP/DOWNストローク |
： | コンタクト～セパレート：300μm |
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顕微鏡X-Yモーション | ： | X,Y共に 25mm |
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顕微鏡UP/DOWN移動量 | ： | 200mm |
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マニピュレータ搭載数 | ： | 最大 8台 |
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インターロック機構 | ： | エアーインターロック |
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防振機構 | ： | 標準装備 |
