SE-2108 |
シールドチャンバー内のステージとマニピュレータは外部操作が可能です。 |
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FT-3300サーモチャック温度コントロール装置と接続する事で、温度範囲 -40℃〜250℃のサーモチャックとして使用可能です。 | |
マニピュレータの最大搭載数は、8台です。 | |
YAGレーザー装置の搭載が可能です。 |
顕微鏡 | ・・・・・・ | FS-70&VMZoom40シリーズ (ミツトヨ社) | |
YAGレーザー装置 | ・・・・・・ | HSL-4000Uシリーズ (HOYA社) | |
チャックトップ | ・・・・・・ | 8インチ CT-8 or CT-8TXA (標準仕様) | |
プローブカードアダプタ | ・・・・・・ | CA-300-870(70pin)/CA-300-848(40pin) | |
プローブヘッド | ・・・・・・ | TPシリーズ、MAシリーズ、PAシリーズ 各種 | |
マニピュレータ | ・・・・・・ | MM-200M/MM-201M (マグネット固定式) | |
プローブ針 | ・・・・・・ | SW、DFSW、DW、CW 各種 | |
温度コントローラ | ・・・・・・ | ホットチャック HC-8X & AT-3000 サーモチャック ATC-8X & FT-3300 |
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真空ポンプ | ・・・・・・ | 1式 |
X-Yステージ移動量 | : | X軸:205mm、Y軸:205mm | |
試料台ローテーション | : | 粗動:180° 微動:10° | |
プローブキャリアZ軸移動量 | : | 10mm | |
プローブキャリア UP/DOWNストローク |
: | コンタクト〜セパレート:300μm | |
顕微鏡X-Yモーション | : | X,Y共に 25mm | |
顕微鏡UP/DOWN移動量 | : | 200mm | |
マニピュレータ搭載数 | : | 最大 8台 | |
インターロック機構 | : | エアーインターロック | |
防振機構 | : | 標準装備 |