SE-2108 解析用マニュアルプローブ装置
SE-2108
シールドチャンバー内のステージとマニピュレータは外部操作が可能です。
FT-3300サーモチャック温度コントロール装置と接続する事で、温度範囲 -40℃〜250℃のサーモチャックとして使用可能です。
マニピュレータの最大搭載数は、8台です。
YAGレーザー装置の搭載が可能です。
顕微鏡 ・・・・・・ FS-70&VMZoom40シリーズ (ミツトヨ社)
YAGレーザー装置 ・・・・・・ HSL-4000Uシリーズ (HOYA社)
チャックトップ ・・・・・・ 8インチ CT-8 or CT-8TXA (標準仕様)
プローブカードアダプタ ・・・・・・ CA-300-870(70pin)/CA-300-848(40pin)
プローブヘッド ・・・・・・ TPシリーズ、MAシリーズ、PAシリーズ 各種
マニピュレータ ・・・・・・ MM-200M/MM-201M (マグネット固定式)
プローブ針 ・・・・・・ SW、DFSW、DW、CW 各種
温度コントローラ ・・・・・・ ホットチャック HC-8X & AT-3000
サーモチャック ATC-8X & FT-3300
真空ポンプ ・・・・・・ 1式
X-Yステージ移動量 X軸:205mm、Y軸:205mm
試料台ローテーション 粗動:180° 微動:10°
プローブキャリアZ軸移動量 10mm
プローブキャリア
 UP/DOWNストローク
コンタクト〜セパレート:300μm
顕微鏡X-Yモーション X,Y共に 25mm
顕微鏡UP/DOWN移動量 200mm
マニピュレータ搭載数 最大 8台
インターロック機構 エアーインターロック
防振機構 標準装備