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| SE-6003 |
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試料ｻｲｽﾞ4mm角からφ8ｲﾝﾁｳｪﾊｰまでﾌﾟﾛｰﾋﾞﾝｸﾞが可能です。 |
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実体顕微鏡／金属顕微鏡の選択が可能です。 |
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ｽﾃｰｼﾞは、ﾌﾘｰﾓｰｼｮﾝで粗同軸と微同軸で構成されていて迅速で高精度な位置合せが可能です。 |
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ｺﾝﾀｸﾄ時、ﾌﾘｰﾓｰｼｮﾝは固定され試料及びﾌﾟﾛｰﾌﾞ針の損傷を防ぎます。 |
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顕微鏡ｻﾎﾟｰﾄﾀﾜｰﾁﾙﾄ機構により試料やﾌﾟﾛｰﾌﾞ針の交換が安全で容易に行えます。 |
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試料台は着脱式で用途に応じた選択が可能です。 |
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低電流測定が可能です。 （ｼｰﾙﾄﾞﾎﾞｯｸｽ搭載仕様） |
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装置の構成は、付属ｱｸｾｻﾘｰ群から選択する事で、用途に合わせたｶｽﾀﾏｲｽﾞが可能です。 |
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X-Yステージ移動量 | ： | X軸：200mm、Y軸：200mm |
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X-Yサブステージ移動量 | ： | X軸、Y軸共に13mm |
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試料台ローテーション角度 | ： | 粗動：180° 微動：10° |
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プローブキャリアZ軸移動量 | ： | 25mm |
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プローブキャリア UP/DOWNストローク |
： | コンタクト〜セパレート：400μm |
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サポートタワーチルト角度 | ： | 水平に対し、10° |
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マニピュレータ搭載数 | ： | 最大8台 （マイクロマニピュレータ／マイクロポジショナ） |
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外形寸法 | ： | 440mm(W) x 545mm(D) x 590mm(H) |
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重量 | ： | 約58Kg （実体顕微鏡・ポジショナー4台搭載） |
