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| 型番
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SE-6101
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| 製品名
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マニュアルプローバ
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| 特徴
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微小サイズ（4mm角程度）からφ200mmウエハー対応コンパクト設計と優れた剛性を持つマニュアルプロ−バ−です。
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特長
●可動機構部はバックラッシュを押さえ、優れた再現性を実現。
●顕微鏡サポ−トタワ−のチルド機構により、試料やプロ−ブ針や試料の交換が安全かつ容易に行えます。
●顕微鏡チルド機構により、対物レンズの交換や回転マニピュレータの着脱が容易に行えます。
●試料台の着脱ができ、計測目的に応じた組合せが可能です。
●低電流測定が可能（シールドボックスに搭載使用時）
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