SE-6105 |
φ300mmウェハー対応のホットチャックを搭載したコンパクトで優れた剛性を持つマニュアルプローバーです。 |
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実体顕微鏡と金属顕微鏡の選択が可能です。 | |
試料台X-Yステージは、高いギア比の粗動ノブと精密な微動ノブを備え素早い初期移動と正確な位置決めが可能です。 | |
YAGレーザー発振器の搭載が可能で試料のレーザー加工が高精度且つ簡便に行えます。 | |
試料台ローディング機構により、顕微鏡やポジショナーの現状を損なう事無く試料の交換が行えます。 | |
エアーハイドロシリンダ駆動のプローブコンタクト機構により、高温時のコンタクト動作も安全・確実に行えます。 | |
顕微鏡昇降機構により、対物レンズやプローブ針の交換も安全かつ容易に行えます。 | |
プローブカードホルダーは、安定した平行度を堅持し全動作温度範囲で正確なプロービングを行えます。 | |
ウェハーリストアップ機構により、ウェハーの取外しが簡便に行えます。 |
X・Y・Z・θステージ | |||
X-Y移動量 | : | φ310mmの範囲(41.7mm/rev) | |
X-Y微動量 | : | ±10mm(1.0mm/rev) | |
θ可変量 | : | ±5deg(0.3deg/rev) | |
Z可変量 | : | 10mm(0.4mm/rev) | |
チャックローディング | : | 300mm(ロック機構付) | |
プローブカード | |||
カード外形 | : | 215mm x 114.3mm x t1.6mm | |
プローブコンタクト量 | : | 0.4mm | |
カード回転微動量 | : | ±5deg(ロック機構付) | |
ホットチャック | |||
ウェハー取付面外形 | : | φ305mm | |
チャック本体高さ | : | 65mm | |
外形寸法 | : | 440mm(W) x 545mm(D) x 590mm(H) | |
重量 | : | 約58Kg (金属顕微鏡・ポジショナー4台搭載) |