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| SE-6105 |
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φ300mmｳｪﾊｰ対応のﾎｯﾄﾁｬｯｸを搭載したｺﾝﾊﾟｸﾄで優れた剛性を持つﾏﾆｭｱﾙﾌﾟﾛｰﾊﾞｰです。 |
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実体顕微鏡と金属顕微鏡の選択が可能です。 |
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試料台X-Yｽﾃｰｼﾞは、高いｷﾞｱ比の粗動ﾉﾌﾞと精密な微動ﾉﾌﾞを備え素早い初期移動と正確な位置決めが可能です。 |
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YAGﾚｰｻﾞｰ発振器の搭載が可能で試料のﾚｰｻﾞｰ加工が高精度且つ簡便に行えます。 |
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試料台ﾛｰﾃﾞｨﾝｸﾞ機構により、顕微鏡やﾎﾟｼﾞｼｮﾅｰの現状を損なう事無く試料の交換が行えます。 |
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ｴｱｰﾊｲﾄﾞﾛｼﾘﾝﾀﾞ駆動のﾌﾟﾛｰﾌﾞｺﾝﾀｸﾄ機構により、高温時のｺﾝﾀｸﾄ動作も安全・確実に行えます。 |
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顕微鏡昇降機構により、対物ﾚﾝｽﾞやﾌﾟﾛｰﾌﾞ針の交換も安全かつ容易に行えます。 |
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ﾌﾟﾛｰﾌﾞｶｰﾄﾞﾎﾙﾀﾞｰは、安定した平行度を堅持し全動作温度範囲で正確なﾌﾟﾛｰﾋﾞﾝｸﾞを行えます。 |
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ｳｪﾊｰﾘｽﾄｱｯﾌﾟ機構により、ｳｪﾊｰの取外しが簡便に行えます。 |
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X・Y・Z・θステージ | ||
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X-Y移動量 | ： | φ310mmの範囲（41.7mm/rev） |
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X-Y微動量 | ： | ±10mm（1.0mm/rev） |
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θ可変量 | ： | ±5deg（0.3deg/rev） |
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Z可変量 | ： | 10mm（0.4mm/rev） |
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チャックローディング | ： | 300mm（ロック機構付） |
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プローブカード | ||
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カード外形 | ： | 215mm x 114.3mm x t1.6mm |
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プローブコンタクト量 | ： | 0.4mm |
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カード回転微動量 | ： | ±5deg（ロック機構付） |
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ホットチャック | ||
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ウェハー取付面外形 | ： | φ305mm |
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チャック本体高さ | ： | 65mm |
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外形寸法 | ： | 440mm(W) x 545mm(D) x 590mm(H) |
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重量 | ： | 約58Kg （金属顕微鏡・ポジショナー4台搭載） |
