 |
||
| VP-6903 |
||
 |
高温・無酸素下での半導体デバイスの評価が可能です。 |
|
外部操作にて、試料台のXYθ軸及びカードキャリア上下動が可能です。 |
|
試料台の温度は、最大400℃です。 |
|
試料台のリーク電流は 1pA（300℃）以下です |
|
真空チャンバー | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1台 |
|
プローバー | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1台 |
|
プローブカードアダプタ | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1台 |
|
実体顕微鏡(オリンパス製 SZ61型） 接眼レンズ、対物レンズ及び照明装置を含む |
･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1式 |
|
真空ポンプ | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1式 |
|
温度コントローラ(AT-3000H） | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1式 |
|
冷却水循環装置(チラー） | ･･･････････････・・・・・・・・・・ | 1式 |
|
チャンバー | ： | 真空度:1.33Pa ポート数:14 ウィンドウサイズ:φ100mm |
|
試料台 | ： | φ120mm チップ押さえ機構付 |
|
試料台移動量 | ： | X=±40mm,Y=±40mm θ=±10° |
|
カードアダプタ | ： | Z軸移動量：10mm チルト機構付 |
|
温度設定範囲 | ： | 50℃ 〜 500℃ |
|
過昇温防止回路 | ： | 450℃（ハード＆ソフト） |
|
高温プローブカード | ： | 温度保障範囲：〜 400℃ 材質:セラミック |
