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型番
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製品名
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備考
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| SE-1000 |
低価格マニュアルプローバ
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実体顕微鏡搭載型 低価格マニュアルプロ−バ−です。
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| SE-1100 |
低価格マニュアルプローバ
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金属顕微鏡搭載型 低価格マニュアルプロ−バ−です。
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| SE-6003 |
マニュアルプローバ
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微小サイズ（4mm角程度）から200mmウエハー対応。
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| SE-2108 |
解析用マニュアルプローブ装置
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標準チャックの他に、ホットチャック・サーモチャックも実装可能。
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| SE-6105 |
マニュアルプローバ
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φ300mmウエハー対応コンパクト設計と優れた剛性を持つマニュアルプロ−バ−です。
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| VP-6903 |
真空チャンバー付きプローブ装置
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真空や窒素ガス等、無酸素雰囲気下での測定が可能です。
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| AT-6602 |
サーモチャックコントロール装置
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本製品は、現在生産を中止しています。
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| SE-6101 |
マニュアルプローバ
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| SE-6102 |
高周波テストヘッド対応マニュアルプローブ装置
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| IL-6400 |
TDDB評価装置
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| AT-3000 |
ホットチャックコントロール装置
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ホットチャック用 温度コントロール装置です。
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| アクセサリ |
プローブ装置 附属品
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アダプタ・チャックトップ・シールドボックス・コネクタパネル・マザーボード・ポジショナ・プローブヘッド、プローブ針、ケーブル、コネクタ
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