半導体装置関連機器 ＜詳細＞ 型番 SE-1000 製品名 実体顕微鏡搭載型　低価格マニュアルプローバ 実体顕微鏡を実装し、試料サイズ10mm□〜φ５インチウェハまでのデバイスのプロービングを対照としています。（パッドサイズ：30μm程度） ▼ 特長 ●持ち運びが容易に行えるよう、小型軽量化を実現。 ●マニュアルプローバの基本性能は、全て装備。 ●顕微鏡は、実体顕微鏡を搭載可能。 ●マイクロポジショナー、最大6台搭載可能。 ●プローブカード用アダプタ取付可能。 ●低価格を実現。 型番 SE-1100 製品名 金属顕微鏡搭載型　低価格マニュアルプローバ 金属顕微鏡を実装し、試料サイズ10mm□〜φ６インチウェハまでのデバイスのプロービングを対照としています。（パッドサイズ：30μm程度） ▼ 特長 ●持ち運びが容易に行えるよう、小型軽量化を実現。 ●マニュアルプローバの基本性能は、全て装備。 ●顕微鏡は、金属顕微鏡を搭載可能。 ●CCDカメラ等を搭載し、液晶相転移観測等に最適。 ●マイクロポジショナー、最大6台搭載可能。 ●プローブカード用アダプタ取付可能。 ●低価格を実現。 型番 SE-6003 製品名 マニュアルプローバ 微小サイズ（4mm角程度）から200mmウエハー対応 ▼ 特長 ●実体顕微鏡から金属顕微鏡までバージョンアップが可能 ●試料台Ｘ-Ｙステージはフリーモーションステージにより、スライド式粗動軸とリニアガイド式微動軸で構成され、迅速かつ高精度な位置合わせが行えます。 ●コンタクトモードの時のフリーモーションステージは固定され、プローブ針や試の損傷を防ぎます。 ●顕微鏡サポートタワー機構により、試料やプローブ針や試料の交換が安全かつ容易に行えます。 ●試料台の着脱ができ、計測目的に応じた組合せが可能です。 ●低電流測定が可能（シールドボックスに搭載使用において） 型番 SE-2108 製品名 解析用マニュアルプローブ装置 半導体ウエハーの解析・評価を目的とした本プローブ装置は、測定部のサーモチャックステージとマニピュレータの移動をシールドチャンバー外部から操作可能です。 ▼ 特長 ●ホットチャック&AT-3000温度コントロール装置の組合せで 30℃〜300℃の温度制御が可能。 ●サーモチャック&FT-3300温度コントロール装置の組合せで -40℃〜250℃の温度制御が可能。 ●マニピュレータは、最大8台まで搭載可能。 ●YAGレーザー装置の搭載が可能。 型番 SE-6105   製品名 マニュアルプローバ 特長 ●試料台X-Yステージには、従来の高精度位置決めが可能な微動ノブとは別に、高いギヤ比の粗動ノブを備え、広大な12インチウェハーでも素早い初期移動が行えます。 ●試料台を手前に引き出せるローディング機構を備えた事で、顕微鏡やプローブ針の現状を損なう事無く、安全確実に試料の交換、並びに試料台自身の着脱を行えます。 ●必要最小限の領域のみを昇降させるエアーハイドロシリンダー駆動のプローブコンタクト機構は、各プローブ針の昇降動作を広い動作温度範囲下で安全・確実に行えます。 ●昇降速度を別々に設定可能なエアーシリンダー機構による顕微鏡昇降システムが、対物レンズやプローブ針などの交替作業を安全・確実なものとします。 ●構造上、作業テーブルとの平行度を広い動作温度範囲下でも堅持出来るプローブカードホルダーを備えており、安全確実なプロービングを行えます。 仕様 ●チャック関係 チャック本体外径 φ330mm ウェハ取付面外径 φ305mm チャック本体高さ 65mm 適用ウェハ 12”専用 許容チャック最大温度 +300℃（HOT Chuck使用時） 真空吸着経路 1経路（ON/OFF-SW付） ●XYZθステージ関係 XY移動量 φ310mmの範囲（41.7mm/rev） XY微動量 ±10mm（1.00mm/rev） （但し、微動量はφ310mmの範囲内） θ可変量 ±5deg（0.38deg/rev） Z可変量 10mm（0.4mm/rev） チャックローディング 300mm（ロック機構付） ●プローブカード関係 適用カード外形 215mm×114.3mm×t1.6mm プローブコンタクト量 0.4mm（エアーハイドロシリンダ駆動） カード回転微動量 ±5deg（ロック機構付） ●顕微鏡関係 適用顕微鏡 VMZ40R-BL（ミツトヨ製）とその互換機種 適用レーザー LR-2100（HOYA製）とその互換機種 X微動量 50mm（0.5mm/rev） Y微動量 50mm（0.5mm/rev） 顕微鏡退避量 150mm（エアーシリンダー駆動） アクセサリー ・顕微鏡 ミツトヨ製（FS-70＆VM　Zoom40シリーズ） ・プローブカードアダプタ CA-6111（プローブカードガイド幅114.3mm） ・プローブヘッド MA-6141（標準アーム） MA-6142（シールドアーム） MA-6143（同軸アーム） PA-6118（ピコプローブ用アダプタ） ・マイクロポジショナー MP-6123/24（ラバーマグネットタイプ） MP-6123M/24M （マグネット固定式ON/OFF機能付） ・マイクロマニピュレータ MM-6121M/22M （マグネット固定式ON/OFF機能付） ・差動式マニピュレータ MM-6127M/6128M （マグネット固定式ON/OFF機能付） ・シールドボックス SB-6105 ・コネクタパネル CP-6137（HP4145対応パネル） CP-6138（HP4155/56C対応パネル） ・温度コントロール装置 AT-3000（ホットチャック温度コントローラ） ・YAGレーザー発信器 HOYAコンティニアム製 HCL-3000シリーズ、 HCL-4200シリーズ ・その他 プローブ針 同軸／Triaxialケーブル etc. ユーティリティー ・電源電圧 AC100V　50/60Hz ・消費電力 12W以下 ・真空量 500hPa. ・圧空量 5kg/cm2（6mmクイック継手） 寸法・重量 ・外形寸法 1130mm（W）×1100mm（D）×1765mm（H） ・装置重量 約700kg（装置本体分のみ） 型番 VP-6903 製品名 真空チャンバー付きプローブ装置 本装置の真空チャンバーは、真空又は窒素ガスを供給し無酸素雰囲気で、高温下での試料の酸化を防止し半導体デバイスの電気特性を測定することを目的しています。 ▼ 特長 ●真空チャンバー内のステージのX-Y動作、ローテーション、プローブカードアダプタのZ動作を外部操作できます。 ●試料台の温度は最高400℃まで制御できます。 ●試料台側でのリーク電流は1pA/0〜20V　at 300℃です。 ●チャンバーは，冷却水循環装置で冷却しています。 型番 AT-6602 製品名 サーモチャックコントロール装置 デバイスの低温から高温での温度特性測定試験を行うのに最適な装置です。 ▼ 特長 ●チャックトップ（試料固定部）をドライエアで乾燥状態に保ち、試料の結露を防止し、試料台の温度を−55℃〜＋150℃に制御し、顕微鏡で観察しながらマニピュレータでプローブ針の操作が行えます。 ●8インチウエハまで搭載可能。 ●弊社独自の設計によるサーモチャックにより低温時における試料台の結露を防止します。 ●試料台の温度制御状態でX-Yステージ移動及びプローブ針のUP/DOWN操作が行えます。 ●試料台の昇降温時間　　常温から−55℃　約25分 常温から＋150℃　約15分と短時間です。 ●プローブカードの装着が可能です。 型番 SE-6101 製品名 マニュアルプローバ 微小サイズ（4mm角程度）からφ200mmウエハー対応コンパクト設計と優れた剛性を持つマニュアルプロ−バ−です。 ▼ 特長 ●可動機構部はバックラッシュを押さえ、優れた再現性を実現。 ●顕微鏡サポ−トタワ−のチルド機構により、試料やプロ−ブ針や試料の交換が安全かつ容易に行えます。 ●顕微鏡チルド機構により、対物レンズの交換や回転マニピュレータの着脱が容易に行えます。 ●試料台の着脱ができ、計測目的に応じた組合せが可能です。 ●低電流測定が可能（シールドボックスに搭載使用時） 型番 SE-6102 製品名 高周波テストヘッド対応マニュアルプローブ装置 半導体テスターの高周波テストヘッド上にプローバを設置し、テストヘッドと分離したDUTをプローバ側に取り付け、最短距離で信号ケーブルを結線し、信号の遅延を極力押さえた状態で解析が行えます。 ▼ 特長 ●プロービングは通常のプローバと同様作業が行えます。 ●各可動部は精密な機構で機械的剛性、耐久性に優れた構造です。 ●顕微鏡サポートタワー、顕微鏡がチルトアップし、プローブ針や試料の交換作業が安全に行えます。 ●防振機構は、水平・上下振動を共に除去し、高周波テストヘッドの振動をDUTに伝わることを最小限としています。 型番 IL-6400 製品名 TDDB評価装置 MOSトランジスタのゲート絶縁膜、酸化膜の耐圧信頼性評価試験を行う装置です。 ▼ 特長 ●最大240素子MOSゲート絶縁膜、酸化膜の電気的ストレス及び耐圧測定評価が可能です。 ●装置はGP-IBインターフェースを使用し、外部のコントローラ（PC等）でリモート制御により自動計測システム。 ●TDDBプローピングシステム、計測ソフト、データ処理、TDDB専用カード等の併用により、充実した計測が行えます。 型番 AT-3000 製品名 ホットチャックコントロール装置 半導体ウエハデバイスに熱ストレスを加えて電気的な温度特性評価測定試験を行うのに最適な装置です。 ▼ 特長 ●ホットチャックは、構造をTriaxial Typeとし、高温での低電流、高抵抗、低容量測定を安定状態で計測が行えます。 ●ホットチャックの比熱を小さくし、昇温時間は室温→＋300℃まで30分以下、降温時間は＋300℃→室温まで30分以下と優れた性能を発揮し、作業効率を大幅に短縮できます。 ●ホットチャックの冷却は、吸引モーターの採用により排気ダクトで室外に出す方法で、チャックからの発塵を極限まで低減できます。 また、水冷ユニット ＣＰ−５を接続する事で、冷却水での冷却も可能です。 ●リモートコントロールボックス（有線）での温度制御の操作ができます。又、インターフェースは、GP-IBを標準装備しています。 ●チャックトップは、材料をMo+Niメッキ処理により高温時におけるウエハー裏面の導通性が安定しています。（チャックトップは、シリコン素材と同等の熱膨張性になっています） ●温度制御部は、保安回路に漏電・電流遮断器を備え、過昇温防止機能として ハード＋ソフトのダブルフェイル機能を有しています。 型番 アクセサリ 製品名 プローブ装置 附属品 各種プローバー装置で使用できるアクセサリーを各種取り揃えています。 ▼ 種類 ●プローブカードアダプタ ●チャックトップ各種 [標準仕様・Triaxial仕様] ●シールドボックス各種 ●プリント基板アダプタ ●コネクタパネル各種 ●マザーボード各種 ●ポジショナ [マイクロポジショナ・マイクロマニピュレータ・差動式ナノマニピュレータ] ●プローブヘッド [標準アーム・シールドアーム・同軸アーム・ピコプローブアダプタ] ●プローブ針 [SWタイプ・FWタイプ・DWタイプ・DFWタイプ・CWタイプ] ●同軸ケーブル各種 ●同軸コネクタ各種