仕様 |
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●チャック関係 |
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チャック本体外径 |
φ330mm |
ウェハ取付面外径 |
φ305mm |
チャック本体高さ |
65mm |
適用ウェハ |
12”専用 |
許容チャック最大温度 |
+300℃(HOT Chuck使用時) |
真空吸着経路 |
1経路(ON/OFF-SW付) |
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●XYZθステージ関係 |
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XY移動量 |
φ310mmの範囲(41.7mm/rev) |
XY微動量 |
±10mm(1.00mm/rev) |
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(但し、微動量はφ310mmの範囲内) |
θ可変量 |
±5deg(0.38deg/rev) |
Z可変量 |
10mm(0.4mm/rev) |
チャックローディング |
300mm(ロック機構付) |
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●プローブカード関係 |
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適用カード外形 |
215mm×114.3mm×t1.6mm |
プローブコンタクト量 |
0.4mm(エアーハイドロシリンダ駆動) |
カード回転微動量 |
±5deg(ロック機構付) |
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●顕微鏡関係 |
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適用顕微鏡 |
VMZ40R-BL(ミツトヨ製)とその互換機種 |
適用レーザー |
LR-2100(HOYA製)とその互換機種 |
X微動量 |
50mm(0.5mm/rev) |
Y微動量 |
50mm(0.5mm/rev) |
顕微鏡退避量 |
150mm(エアーシリンダー駆動) |
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アクセサリー |
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・顕微鏡 |
ミツトヨ製(FS-70&VM Zoom40シリーズ) |
・プローブカードアダプタ |
CA-6111(プローブカードガイド幅114.3mm) |
・プローブヘッド |
MA-6141(標準アーム) |
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MA-6142(シールドアーム) |
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MA-6143(同軸アーム) |
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PA-6118(ピコプローブ用アダプタ) |
・マイクロポジショナー |
MP-6123/24(ラバーマグネットタイプ) |
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MP-6123M/24M |
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(マグネット固定式ON/OFF機能付) |
・マイクロマニピュレータ |
MM-6121M/22M |
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(マグネット固定式ON/OFF機能付) |
・差動式マニピュレータ |
MM-6127M/6128M |
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(マグネット固定式ON/OFF機能付) |
・シールドボックス |
SB-6105 |
・コネクタパネル |
CP-6137(HP4145対応パネル) |
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CP-6138(HP4155/56C対応パネル) |
・温度コントロール装置 |
AT-3000(ホットチャック温度コントローラ) |
・YAGレーザー発信器 |
HOYAコンティニアム製 HCL-3000シリーズ、 |
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HCL-4200シリーズ |
・その他 |
プローブ針 同軸/Triaxialケーブル etc. |
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ユーティリティー |
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・電源電圧 |
AC100V 50/60Hz |
・消費電力 |
12W以下 |
・真空量 |
500hPa. |
・圧空量 |
5kg/cm2(6mmクイック継手) |
寸法・重量 |
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・外形寸法 |
1130mm(W)×1100mm(D)×1765mm(H) |
・装置重量 |
約700kg(装置本体分のみ) |