半導体装置関連機器
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SE-1000
実体顕微鏡搭載型 低価格低価格マニュアルプローバ
実体顕微鏡が搭載可能な簡易型低価格マニュアルプロ−ブ装置です。
SE-1100
金属顕微鏡搭載型 低価格マニュアルプローバ
金属顕微鏡が搭載可能な簡易型低価格マニュアルプロ−ブ装置です。
SE-6003
マニュアルプローバ
4mm□〜200mmウェハーまで測定可能なマニュアルプロ−ブ装置です。
SE-2108
解析用マニュアルプローブ装置
ホットチャック/サーモチャック搭載可能な外部操作型マニュアルプロ−ブ装置です。
SE-6105
マニュアルプローバ
φ300mmウエハー対応コンパクト設計と優れた剛性を持つマニュアルプロ−ブ装置です。
VP-6903
真空チャンバー付きプローブ装置
光加熱型 高温・高耐圧真空チャンバー
VP-6904型もございます。
AT-6602
サーモチャックコントロール装置
本製品は、リニューアル中です。
AT-6602Xとして近日発売予定。
SE-6101
マニュアルプローバ
SE-6102
高周波テストヘッド対応マニュアルプローブ装置
IL-6400
TDDB評価装置
AT-3000
ホットチャックコントロール装置
アクセサリ
プローブ装置 附属品
プローブ針、マニピュレータ等 各種取り揃えています。